| 談天說地主旨 ﹝請按主旨作出回應﹞ 下頁 尾頁 | 寄件者 | 傳送日期
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| [#1] 厲害了我的國！國產電子束光刻機比 EUV 光刻機更強之處! 最近中國科技圈又有大突破！杭州誕生首台商用電子束光刻機「羲之」，由浙江大學研發團隊打造，直接把「中國刻刀」送入量子芯片最尖端。你常聽 EUV 光刻機與電子束光刻機究竟有何分別？ 電子束光刻機「羲之」是用 100kV 高能電子束，細緻得可以在頭髮絲上雕刻出城市地圖，精度高達 0.6nm，線寬可微細到 8nm。比起大家常聽見的 EUV 光刻機，細緻度高於一倍有餘——ASML 的 High NA EUV 最細只能到 2nm。 電子束光刻（Electron Beam Lithography，EBL）背後原理是什麼？它靠電子束高能轟擊專用抗蝕劑，使分子鏈重組，然後電磁場精密控制移動軌道，將設計圖案直接「手寫」在基板上，大大方便芯片開發初期反覆修改、優化。這種「納米毛筆」畫法不用掩模，只要有創意，想改就改，極適合高端芯片迭代開發，以及小批量生產。 俗話有云慢工出細貨，電子束光刻機最大缺點就是速度不高。逐點逐線掃描，刻寫一片 12 吋，晶圓最長需時約 1 個月，EUV（Extreme Ultraviolet Lithography）用 13.5nm 極紫外光源配掩模版，每小時可完成上百片晶圓，可見電子束光刻機效率遠遠比不上 EUV 光刻機。現在需要大量生產 CPU、DRAM 這種商用大規模晶片，暫時還是使用 EUV 光刻機更有效率。  |
Ming Sir 正式會員192.xxx.xxx.176 |
2025-08-21 21:00 | |
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| [#2] 厲害了我的國！國產電子束光刻機比 EUV 光刻機更強之處! ＞＞ 刻寫一片 12 吋，晶圓最長需時約 1 個月 係唔係打錯字？人手刻制？ |
bt99 正式會員 1.xxx.xxx.166 |
2025-08-21 21:04 |
| [#3] 厲害了我的國！國產電子束光刻機比 EUV 光刻機更強之處! 藝術級點同大路量產品遮^_^ |
degalle 會員 218.xxx.xxx.146 |
2025-08-21 21:05 |
| [#4] 厲害了我的國！國產電子束光刻機比 EUV 光刻機更強之處! 痴孖筋， 一小時一片都俾人笑到面黃啦， 一個月一片，咁高科技就味鬼公布啦， 唔識乜叫獻醜不如藏拙 。。 |
bt99 正式會員 1.xxx.xxx.166 |
2025-08-21 21:15 |
| [#5] 厲害了我的國！國產電子束光刻機比 EUV 光刻機更強之處! 部機隔離放電腦？！ 咩叫無塵室？ 咁多塵嘅地方做光刻機？ 用個ＳＦ都諗到無可能啦 |
開心溫柔鄉 正式會員 90.xxx.xxx.162 |
2025-08-21 21:22 |
| [#6] 厲害了我的國！國產電子束光刻機比 EUV 光刻機更強之處! 世界趣聞系列. |
rickyp 正式會員 103.xxx.xxx.170 |
2025-08-21 21:23 |
| [#7] 厲害了我的國！國產電子束光刻機比 EUV 光刻機更強之處! 中國是一個很神奇的國家, 每隔一段時間就會爆出其科技突破的消息. 小粉紅聽到當然都會很high, 他們還會說厲害了,我的國. 但這些消息過後就會一切就回復正常了. 所以大家當無事發生過就可以了, 生活亦會催於平靜. |
skyforce 會員 118.xxx.xxx.118 |
2025-08-21 21:35 |
| [#8] 厲害了我的國！國產電子束光刻機比 EUV 光刻機更強之處! 老美疑惑，小日本迷惘，台積電驚訝，三體人嚇呆了 !! 反正我信了 . . . . 徹頭徹尾，驚天地恰鬼神呀 ~~~ |
bt99 正式會員 1.xxx.xxx.166 |
2025-08-21 21:58 |
| [#9] 厲害了我的國！國產電子束光刻機比 EUV 光刻機更強之處! 連太陽都造到，光刻機濕濕碎啦，超高難度嘅原子筆芯粒走珠都已經喺幾年前做到啦！ |
Ming Sir 正式會員 192.xxx.xxx.180 |
2025-08-21 22:17 |
| [#10] 厲害了我的國！國產電子束光刻機比 EUV 光刻機更強之處! 強果打飛机式科技突破消息，信一成都死！！ |
BB1668 會員 112.xxx.xxx.186 |
2025-08-21 23:50 |
| [#11] 厲害了我的國！國產電子束光刻機比 EUV 光刻機更強之處! 之前好似吹噓解放軍手磨乜乜納米晶圓？ |
simpleman 正式會員 14.xxx.xxx.210 |
2025-08-22 00:36 |
| [#12] 厲害了我的國！國產電子束光刻機比 EUV 光刻機更強之處! 厲害国可以將proof of concept 嘅實驗公佈為成功燃髪 |
olddude 正式會員 64.xxx.xxx.55 |
2025-08-22 02:46 |
| [#13] 厲害了我的國！國產電子束光刻機比 EUV 光刻機更強之處! 慢工出細貨，我們識條鐵，最重要國家補貼袋袋平安。 |
DeepSea^^ 正式會員 222.xxx.xxx.118 |
2025-08-22 09:09 |
| [#14] 厲害了我的國！國產電子束光刻機比 EUV 光刻機更強之處! ＞＞ 咩叫無塵室？ 厲害於不挑環境，沙漠，落雨，廚房，磨房 .. 全部可以開機照雕 ~~ 按人頭，每條韭菜配給一部， 一個月就收成 14e 片晶圓。 厲害吧 !! |
bt99 正式會員 1.xxx.xxx.166 |
2025-08-22 10:24 |
| [#15] 厲害了我的國！國產電子束光刻機比 EUV 光刻機更強之處! 又贏麻了 |
kenneth288 正式會員 61.xxx.xxx.126 |
2025-08-22 11:04 |
| [#16] 厲害了我的國！國產電子束光刻機比 EUV 光刻機更強之處! 唔係玩手工研磨奈米晶片咩？ |
pharm 正式會員 126.xxx.xxx.18 |
2025-08-22 11:13 |
| [#17] 厲害了我的國！國產電子束光刻機比 EUV 光刻機更強之處! Wakaka咁似發燒補品啲宣傳用字 |
twinggy 正式會員 203.xxx.xxx.3 |
2025-08-22 11:39 |
| [#18] 厲害了我的國！國產電子束光刻機比 EUV 光刻機更強之處! 好心個雞棚就搭好d喇！黑鳩蚊蚊，開靈堂咩！！ |
BB1668 會員 112.xxx.xxx.186 |
2025-08-22 11:42 |
| [#19] 厲害了我的國！國產電子束光刻機比 EUV 光刻機更強之處! 讀幾多書都冇用，一生專注吹牛作大，冇可能會進步。 |
V.C 正式會員 123.xxx.xxx.177 |
2025-08-22 11:45 |
| [#20] 厲害了我的國！國產電子束光刻機比 EUV 光刻機更強之處! 厲害了，我的鍋 又彎道，超了車 https://www.bilibili.com/video/BV1cs4y197DK/ |
Kelvinzy 正式會員 202.xxx.xxx.40 |
2025-08-22 11:45 |
